教えて--みなさんのお知恵拝借
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◇┳重畳して印加する-投稿者:riko(5/16-20:45)No.3620
 ┣━Re:重畳して印加する-投稿者:LimaLima(5/16-21:49)No.3621
 ┣━Re:重畳して印加する-投稿者:なら(5/17-00:55)No.3625
 ┣┳Re:重畳して印加する-投稿者:藤岡 裕(5/17-07:46)No.3626
 ┃┗━Re:重畳して印加する-投稿者:藤岡 裕(5/17-12:22)No.3630
 ┣━Re:重畳して印加する-投稿者:権兵衛(5/17-08:25)No.3627
 ┗━ありがとうございました-投稿者:riko(5/17-20:16)No.3633


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重畳して印加するriko 36205/16-20:45

先日の翻訳をまだ引きずっているのですが、
基本的なことで教えて頂きたいことがあるのです。

プラズマエッチングをする際に、電極に交流電圧と
直流電圧を重畳して印加し、このバイアスを調整して
エッチングを行うと書いてあります。

この交流電圧と直流電圧を重畳して印加する、というのは
交流電圧と直流電圧を同時に電極にかける、と理解して
良いのでしょうか。
教えてください。

それから、これはくだらない質問で恐縮なのですが
辞書で調べても分からなかったので教えてください。
この発明ではエッチング室として石英製ペルジャを
使用しています。このペルジャのつづりが分からないのです。。。。
ご存じの方、教えて頂ければ嬉しいです。





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Re:重畳して印加するLimaLima 36215/16-21:49
 記事番号3620へのコメント

rikoさん こんにちは

>この交流電圧と直流電圧を重畳して印加する、というのは
>交流電圧と直流電圧を同時に電極にかける、と理解して
>良いのでしょうか。

同時に電極にかける、という理解でよろしいかと思います。
具体的には、直流電圧と交流電圧の和を電極に印加すると
いうことです。

「ペルジャ」は、「ベルジャー」ではないでしょうか?
bell jar n. ガラス鐘, ベルジャー 《おおい・ガス貯留・
真空実験用の鐘状のガラス器》
(リーダーズ+プラスより)


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Re:重畳して印加するなら URL36255/17-00:55
 記事番号3620へのコメント

rikoさん、こんにちは。
重畳について:
LimaLima さんがお答えになっているとおりなのですが、
ちょっと遊んでみたので見てください。

重畳のイメージは次のようになります。
(交流は、実際には正弦波かもしれません)


<交流>
+1
0 /\  /\  /\
-1   \/  \/  \



<直流>
+3___________


0 ----------------------


<2つを重畳>

+4
+3 /\  /\  /\
+2   \/  \/  \

0 ----------------------


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Re:重畳して印加する藤岡 裕 URL36265/17-07:46
 記事番号3620へのコメント

rikoさんは No.3620「重畳して印加する」で書きました。

>この発明ではエッチング室として石英製ペルジャを
>使用しています。このペルジャのつづりが分からないのです。。。。

英辞朗は「ペルジャ」として地名のPerugiaを挙げており、これと「石
英」に相当する英語を組み合わせて検索するといくつかヒットしますの
で一応調べてみられるようお勧めします。


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Re:重畳して印加する藤岡 裕 URL36305/17-12:22
 記事番号3626へのコメント

藤岡 裕さんは No.3626「Re:重畳して印加する」で書きました。

>英辞朗は「ペルジャ」として地名のPerugiaを挙げており、これと「石
>英」に相当する英語を組み合わせて検索するといくつかヒットしますの
>で一応調べてみられるようお勧めします。

etchingとPerugiaの組み合わせも結構ヒットするようですが関係ないか
も...(-_-;)。


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Re:重畳して印加する権兵衛 36275/17-08:25
 記事番号3620へのコメント

>この交流電圧と直流電圧を重畳して印加する、というのは
>交流電圧と直流電圧を同時に電極にかける、と理解して
>良いのでしょうか。

そう思います。

>このペルジャのつづりが分からないのです。。。。

ベル型ジャーのことで、belljarだと思います。


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ありがとうございましたriko 36335/17-20:16
 記事番号3620へのコメント

LimaLimaさん、ならさん、藤岡裕さん、権兵衛さん、
どうもありがとうございました。
自分の見解があっていてほっとしました。
ならさん、あの図はとてもよく分かり、イメージができました。
それから、ベルジャだったんですね。
原稿が特許公報で字がつぶれていて「ペ」か「ベ」か
よくわからなかったのです。
ご指摘いただき、ありがとうございました。
非常に助かりました。