リックさんがすでに foreign objects (foreign substances) という
言葉が適切だとご承知の上で、あえて一語で「異物」を表現したいと
仰っていたので、僕が挙げた foreign matter は二語なので不適切で
したね。すみません。それから、impurities も挙げておきましたが、
たけださんの仰るとおり、これは半導体に入れる不純物として使うこ
とが多いようですね。確かに

dust, dirt and other impurities

ならばいくらでも例文が見つかりますが、今度は chips を入れて

dust, chips, and other impurities

などとすると、途端に例文がなくなってしまいます。だからこの場合
は、たけださんの仰るとおり、impurities は適切でないようですね。
たけださんが挙げてくださった「一語」の用語を挙げると、trash,
debris, particles を Google で確かめると、どうも debris が最も
適切だろうと僕は思います。というのも、

dust, chips, and other trash
dirt, chips, and other trash

dust, chips, and other particles
dirt, chips, and other particles

というようなフレーズを含む例文はありませんが、

dust, chips, and other debris
dirt, chips, and other debris

というふうに debris を使った例文なら、いくらでも見つかるからで
す。というわけで、たけださんの仰るように、今回のように chips を
含むような「遺物」を「一語」で示す単語としては、debris がよかろ
うと思います。

ただし、Google で検索したときの chips は「木片」などの「かけ
ら」とか「木屑」みたいなものを含めた言葉であって、Google 上で並
んでいるこれらの例文の中で使われている chips が今回リックさんの
言っておられた「マシン周りの小さなチップ」をも意味しているのか
どうかは、僕にはまだわからないのですけどね。

第一、「マシン周りの小さなチップ」とはどういうものなのか、僕に
はわかりません。もしかしてそれは、「材料の破片や屑」みたいなも
のなのでしょうか？もしそうなら、Google 上で見つけたたくさんの例
文の中で使われている chips はそれを含んでいるでしょうね。