こんばんは

私にとってはforeign matterが一番なじみが深いですが他にも
debris
foreign material
foreign object
trash（原料中の）
particle（半導体製品の）
というのが『産業技術用語辞典』（研究社）に載っています。

一方海野さんの辞典は

いぶつ【異物】
foreign matter, a foreign substance [object], foreign bodies, foreign particles, (a)
foreign material,
extraneous matter
◆substances foreign to... 〜にとっての異物
◆Foods Adulteration Involving Hard or Sharp Foreign Objects *見出し**意訳*硬い異
物または鋭利な
異物の食品への混入
◆remove foreign matter from food 食品から異物を取り除く
◆prevent food adulteration 食品への異物混入を防ぐ[防止する]
◆a foreign body detector 異物検出器
◆Foreign Body Prevention, Detection and Control *見出し*異物混入の防止, 検出, およ
び抑制[低減]

となっています。

impurityは、混ぜ物／不純物というイメージですね。
impurity
*n. 不潔, 不純; みだら, 猥褻; 不純行為; 不純物, 夾雑物, 混ざりもの; 【電子工】 《半導体
中の》 不純物.
リーダーズ＋プラス

ネット上でのdebrisの定義
http://www.thefreedictionary.com/debris